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横軸ロータリー研削盤

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中型スライシングマシン
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太陽電池用シリコン加工機
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半導体関連
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製品カテゴリー

横軸ロータリー研削盤

汎用機
  • TR30
  • TR60
  • TR80
  • TR50S
NC機
  • TR30NC
  • TR60NC
  • TR80NC
  • TR120NC
  • TR160NC
  • TR180NC
  • TR200NC
  • TR60NCA
  • TR80NCA

立軸ロータリー研削盤

汎用機
  • TRV60
NC機
  • TRV80NC-NC2
  • TRV100NC-NC2

立軸角テーブル平面研削盤

  • TVSF20020N(-2Pxxx)
  • TVSF30030NC

スライシングマシン

汎用機
  • TS4020SM
  • TS5020SM
  • TS6030SM
NC機
  • TSN4020SM
  • TSN5020SM
  • TSN6030SM
  • TSNA5020SM-NC3
  • TSNA6030SM-NC3
    ※別途両持タイプ(SMW型)あり

専用機

バンドソー切断機
  • BSMシリーズ
大型スライシングマシン
  • TSA50150
中型スライシングマシン
  • TSA550
外周面取り研削盤
  • TSA4040V
自動スリット研削盤
  • TSG2
太陽電池用シリコン加工機
  • ポリシリコン製造用シード加工機
  • 単結晶用加工機
  • 多結晶用加工機
全自動化対応ライン専用機
半導体関連
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製品情報

TSA4040V

仕様

テーブル上面の大きさ mm 400×400
テーブル左右の移動量 mm 750
砥石前後の移動量 mm 800
砥石上下の移動量 mm 200
砥石寸法(外径×内径×厚さ) mm 200×70×50
砥石軸電動機ACスピンドルモーター kW 3.7
砥石軸回転数(インバーター制御) mln-1 MAX.5,000
占有床寸法 mm 約2,500×2,680
本体質量 kg 約3,500

加工

研削

対象

石英ガラスの外周面取り研削

特徴

  • 門型の大型スライシングマシンをベースとして石英ガラスの外周面取研削が行えるNC制御の専用機です。テーブル左右(X軸)、砥石前後(Y軸)、砥石上下(Z軸)の各案内はリニアガイドとし、同時制御で輪郭研削、さらに外周研削および面取作業を行います。砥石軸は立軸とし、1つの砥石に番手の違う砥粒を埋め込んだ砥石(粗♯200~♯400・精♯700~1000)と面取用砥石を使用してワンチャックで仕上げ、研削まで行います。オートローダーとストッカーの採用により、限定無人運転が可能です。

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