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横軸ロータリー研削盤

汎用機
  • TR30
  • TR60
  • TR80
  • TR50S
NC機
  • TR30NC
  • TR60NC
  • TR80NC
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  • TR160NC
  • TR180NC
  • TR200NC
  • TR60NCA
  • TR80NCA

立軸ロータリー研削盤

汎用機
  • TRV60
NC機
  • TRV80NC-NC2
  • TRV100NC-NC2

立軸角テーブル平面研削盤

  • TVSF20020N(-2PH)
  • TVSF30030NC

スライシングマシン

汎用機
  • TS4020SM
  • TS5020SM
  • TS6030SM
NC機
  • TSN4020SM
  • TSN5020SM
  • TSN6030SM
  • TSNA5020SM-NC3
  • TSNA6030SM-NC3
    ※別途両持タイプ(SMW型)あり

専用機

バンドソー切断機
  • BSMシリーズ
大型スライシングマシン
  • TSA50150
中型スライシングマシン
  • TSA550
外周面取り研削盤
  • TSA4040V
自動スリット研削盤
  • TSG2
太陽電池用シリコン加工機
  • ポリシリコン製造用シード加工機
  • 単結晶用加工機
  • 多結晶用加工機
全自動化対応ライン専用機
半導体関連
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製品情報

TSA50150
角テーブルタイプ スライシングマシン(3軸NC制御装置付)

仕様

テーブル寸法(長さ×幅) mm 1300×500
砥石ヘッド上下ストローク mm 440
砥石軸よりテーブル上面迄の距離 mm 20~460
砥石ヘッド旋回角度×傾斜角度 0~180゜×0~15゜
砥石車の寸法
メインスピンドル(外径×内径) mm 200×40
サブスピンドル(外径×内径) mm 150×40
砥石軸回転数 お打合せによる
砥石軸出力 kW 3.7
占有床寸法 約 mm 4,500×2,650
本体質量 約 kg 10,000

加工

切断、溝入れ

対象

ウェハーボード、ガラス板、セラミックス板、カーボン板など各種難削材、脆性材料

特徴

  • 本機は角テーブルタイプの大型スライシングマシンで、テーブル左右(X)、砥石ヘッド前後(Y)、砥石ヘッド上下(Z)はNC制御され、また砥石ヘッドの旋回および傾斜が手動で行なえるユニークな機構を持っています。門型タイプ(TSA-50150)と砥石ヘッドの傾斜角度の大きい片持式(TSB-30150)の2つのタイプを用意しています。ウェハーボートの溝加工をはじめ各種難削材の切断、溝入れに数多くの実績を持っています。
  • 3軸NC装置+砥石ヘッド旋回+砥石ヘッド傾斜機構を装備しています。
  • サブ・スピンドルを標準で装備しています。
  • 集中操作方式を採用しています。

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